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第143章 双工件台的设想

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在实验室内,苏远山遇到了意想不到的人。
  
  “郑叔?”
  
  郑振川正带着研究员站在原子力显微镜前观察着什么,这让苏远山颇有些惊讶。按理说郑振川这边用不着原子力显微镜的。
  
  苏远山建的物理实验室当然不是只有他自己用,而是统一归于科技园实验室中心管理。任何人只要打个申请就能使用。
  
  “我来分析一下第一次曝光后的硅晶圆表面。”郑振川呵呵笑道。
  
  “喔,那你们继续。”苏远山决定不打扰对方。
  
  “没事,我们已经弄完了。”郑振川走向苏远山,想了想道:“小苏,你上次提到的双工件台设想,我们所里考虑了一下,发现难度很大,感觉根据现有的条件走不通。但一旦实现的话,确实对于光刻机来说,会是一个极大的提升。”
  
  “嗯,没错。终于走不走得通……”苏远山笑了笑:“我们先不忙考虑其他,仅从设计角度上来说,可以设计出这样的机械装置来配合光刻机吗?”
  
  郑振川笑道:“这当然可以,只要是机械,就没有设计不出来的。无非是精度、效率、体积罢了。”
  
  “那不就结了?”苏远山摊手:“总得先试试,精度效率先不管,先管体积,先搞出来再说。”
  
  “只是那非一朝一夕啊。”
  
  “慢慢来嘛。”苏远山呵呵一笑:“我出钱的都不着急呢,这玩意哪怕十年弄出来也没啥。但只要弄出来了,那就是大杀器,对吧?”
  
  郑振川笑着点了点头:“确实。”
  
  苏远山呵呵一笑。
  
  asml之所以横扫全球,除了率先搞出193nm浸润式光刻机之外,双工件台也是它的独门绝活。国内是直到2020年了才搞了出来……
  
  苏远山知道这些技术的难度,所以他压根不急,而且也没有办法着急。
  
  远芯现在的研发底子和投入绝对是国内企业的顶级水准,但比起国外,还真的有差距。
  
  这个差距不是体现在投入,而是体现在人才方面。
  
  国外一来有着技术积累优势,二来有着知识积累的优势,还有着广纳人才的优势。而远芯这边,除了芯片设计领域之外,其他领域都只有靠苏远山的“前瞻眼光”来完成超越。
  
  说白了,就是苏远山只能让人不走绕路。但路哪怕再直,也得一步步走下去。
  
  所以这个科技园,算是苏远山强行在用钱砸。
  
  好在国内人力成本便宜,所以远芯能轻松养起上千个研究员。
  
  但除了人力成本,其他的可就不便宜了,远芯这边盖楼加建立实验室,又给无尘室实验室购买了蚀刻抛光离子注入等设备,虽然都是二手的,但整体下来,十几个亿的人民币就没了。
  
  这还没算各个课题组的投入。
  
  这时苏远山大哥大响起,他拿起电话,对郑振川笑道:“郑叔,你们安心搞你们的,钱这边我来想办法。”
  
  “行。”
  
  退出实验室,苏远山摁下接听键。
  
  “你好。”
  
  电话中,一个略带着一些紧张,又有些期待的声音响起。
  
  “你好,大佬!”
  
  苏远山微微一怔,脸上迅速弥漫起笑意来。
  
  他快步走进隔壁的办公室,然后关上了房门。